2路質子流量計供(混)氣系統

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一、概述

     1.氣體從鋼瓶出來,經過減壓閥減壓,通過四氟管到供氣系統的入口,再經過質子流量計控制氣體流量,然后經過混氣罐,再進入爐子進氣口,氣體從出氣管出來,經過三通閥門,一端連接真空泵,一端連接出氣口。

     2.混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一面板上。

     3.每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證。

     4.該氣路采用高精度氣體浮子流量計,氣路內部全采用四氟管,耐腐蝕性好。

     5.所有接頭采用卡套連接,氣密性好,耐壓高。

二、技術參數:

氣路通道:2

氣路流量控制:質子流量控制器。

接口: Φ6

顯示: LED

工作環境溫度: 5~45℃                                                       

流量控制器:質子流量控制器(詳細技術參數請查看后面)

四氟管:Φ6外XΦ4內

壓力真空表 :-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/格

截  止   閥:Φ6

三、供氣系統內部壓力不能過大,不然容易造成漏氣,只要氣體能正常流出來即可。

四、供氣系統的配置:

1、質子流量計:2個

2、壓力表:1個

3、截止閥門:3個

4、穿板接頭:3個

5、閥門接頭:2個

6、鋼瓶接頭: 2個

7、聚四氟乙烯管:10M

8、混氣罐:1個 

 9、爐架:1臺

 

質量流量計技術參數:質子流量控制器普通型,模擬電路,橡膠密封,管狀分流,不易堵塞。

主要指標:

 

量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(你可以任意選擇量程)

  • 準確度:±1.5% F.S
  • 線性:±0.5~1.5% F.S
  • 重復精度:±0.2% F.S
  • 響應時間:10S
  • 氣壓降:<0.01MPa
  • 最大壓力:3MP
  • 工作環境溫度:5~45℃
  • 輸入輸出信號:0~+5.00V
  • 電源:+15V 50mA -15V 50mA
  • 外形尺寸:158*30*110

 

 



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