TL1200-S-C 預加熱滑竿式CVD系統

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此款CVD系統前端配有可加熱到1000℃的預加熱器,輔助二維材料蒸發,后端為雙溫區管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質量流量計供氣系統和真空系統,可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量,對于生長MoS2等二維材料非常實用,重復性好。

TL1200 管式爐

 

 

型號

TL1200-C-I  

TL1200- C-II  

 TL1200-C-III

TL1200-C-IV

預加熱器

額定溫度:800℃

最高溫度:1000℃

最快升溫速率:≤30℃/min

推薦升溫速率:≤15℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220V

額定功率:1.2KW

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

爐管

 石英管:60/80/100/150*1000mm(管徑可選)

兩邊各放置一個爐塞,爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射,必須在加熱前放置在爐膛的正確位置

 

 外形尺(LXDXH)

580X370X540

580X420X590

580X420X590

580X440X610

電源電壓

220V

相數

單相

加熱元件

進口瑞典Canthal  A1 電阻絲   點擊進入資料下載

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標配)

1、30段程序控溫智能PID調節。

2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時。

主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                        

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

控溫模式

智能PID

斷偶保護和顯示

過溫保護

過流保護

控制精度

+/- 1 ℃

觸發器

移相觸發

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

最高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤30 ℃/ Min (可根據要求修改)

推薦升溫速率

≤15℃/ Min

熱電偶型號

K  型 

加熱段長度

440mm

電器認證

四周表面溫度

≤45 ℃

閥門和法蘭

 

 

GX供氣系統主要參數

 

質量流量計

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復精度

±0.2% F.S

路數

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統

方案一或方案二任選一個

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統抽爐管真空度可達

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-8真空泵 

(方案一)

型號

VRD-8

極限分壓強

5X10-2 Pa

進排氣接口

 KF25

電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

電機功率

0.4KW

Preiffer ACP15無油多級羅茨泵

 

(方案二)

型號 ACP15
電源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽氣速率 14  m3/h
極限壓強 0.02Torr
進、排氣接口 KF25

電阻真空計

(方案一)

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷電容真空計

(方案二)

 

 

 

   

 

     型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計接口

KF16

數字顯示

數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

產品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組(選購)

(方案一或方案二任選一個)

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

  600

分子泵極限壓強(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環境溫度

0~40℃

建議啟動壓強

<100pa

分子泵前級真空TRP-24

(FJ620分子泵必須要配此前級泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強

4X10 -2Pa

 

 

德國Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10-5 -10 Pa

 保修期  

一年保修,終身技術支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內。

             2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

 

注意事項

1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

3.當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當

4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊

5.對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) 

這套CVD系統帶有預熱系統,由預熱系統+供氣系統+管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度加熱區間可以是單溫區,極限真空可以達到10-1Pa,供氣系統是流量調節可以是4路質子流量計,

 

 

這款管式爐以進口電阻絲瑞典(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

康泰爾電阻絲資料下載

 

 

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                                    

           

        Kanthal A1 原絲                        國產電阻絲爐膛                             VS                            進口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

 

 

                                                                                                                                      

大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲                     Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡

有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小                                          溫場效果好                 

 

2、安裝有空氣開關和漏電保護器:

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

 

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

 

 

4、爐膛

 

     

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱,溫場更加均衡

 

5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

 

 

6、不銹鋼支撐架

       

 

7、認證

     

 

8、法蘭

                                                    

鉸鏈式法蘭(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)                 水冷法蘭(選購)

                                

 

 

TL1200-CVD系統標配

 

描敘

數量

圖片

TL1200管式爐

1 套

                     

石英管

1根

不銹鋼法蘭

1 套

 

不銹鋼爐鉤

1 個

氧化鋁爐塞

1對

高溫手套

1 雙

氧化鋁坩堝

1個

K型熱電偶 1個

485轉換接口和軟件(選配)

1 套

說明書

1本

 

法蘭支撐架

1 對

                                            

供氣系統

 

1臺
VS-0.1抽氣系統 1臺
卡套 4個                         
波紋管 1支                          
真空擋板閥 1個                     
鋼瓶接頭(N代表路數) N個                  
閥門接頭 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路數) NX5                         

 

 



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